展商精選丨華易泰,致力于顯示面板、半導體等行業(yè)工藝設備本土化
2023-07-31 09:09:58
公司簡介
南京華易泰電子科技有限公司(展位號:4A09)2020年2月成立于南京市江北新區(qū)智能制造產(chǎn)業(yè)園,致力于顯示面板、半導體、新能源行業(yè)的工藝設備國產(chǎn)化。華易泰的主營產(chǎn)品分為AMHS(自動化物料搬運系統(tǒng))、WET(濕制程)設備、CCSS(中央化學品供給系統(tǒng))三大類,堅持百分百自主研發(fā)、設計、制造,是一家具備高新技術(shù)企業(yè)資質(zhì)及多項行業(yè)認證資格的高精密設備研發(fā)制造企業(yè)。
推薦產(chǎn)品--AMHS產(chǎn)品系列
Stocker潔凈型堆垛機
② 自主研發(fā)新型Fork專利技術(shù),自動校對卡匣位置;
③ BCR+磁柵尺機械結(jié)構(gòu),精確確認Crane位置信息;
④ Arm采用雙驅(qū)動+非動力傳動方式,空間小、精度高;
⑤ CPS非接觸式電源供電,效率高、壽命長、靈活度高。
OHT空中走形式無人搬運車
② 物料抓取防晃動設計,準確定位并抓取物料,穩(wěn)定性高;
③ CPS非接觸式電源供電,效率高、壽命長、靈活度高;
④ BCR實時確認Shuttle位置信息,實現(xiàn)與CIM的實時通信;
⑤ 采用安全觸邊傳感器,緩沖器,鐳射傳感器等防護措施,調(diào)整穿梭速度,防止碰撞。
推薦產(chǎn)品--WET產(chǎn)品系列
Cleaner清洗機
② 水平傳送、傾斜傳送、90°轉(zhuǎn)角傳送等多種傳送方式可選;
③ 搭配AP Plasma/EUV,素玻璃接觸角<5°,進行有機物清潔;
④ 廠務純水直供和設備循環(huán)供給相結(jié)合,純水用量低、效率高;
⑤ 使用毛刷、二流體噴淋、超聲波清洗等清洗方式,實現(xiàn)<3μm的顆粒去除。
Etcher刻蝕機
② 多角度搖擺噴淋方式,蝕刻均勻性高、藥液利用率高;
③ 搭配EMS藥液分析系統(tǒng),實時在線精準把控藥液成分;
④ 觸摸屏+PLC控制安全保護,具有液位保護、漏液漏電保護等;
⑤ 穩(wěn)定高速的藥液置換供給系統(tǒng),實現(xiàn)不停機藥液供給的置換,產(chǎn)能高、藥液利用率高。
推薦產(chǎn)品--CCSS產(chǎn)品系列
CDS 化學品供給系統(tǒng)
② Drum區(qū)域配置HEPA,保證在更換酸桶時維持正壓;
③ Drum及Tank氮封設計,防止空氣接觸至化學品造成污染;
④ 配置手動撥鈕開關(guān),PLC故障時可手動強制供應;
⑤ 主部件N+1配置,穩(wěn)定性好、效率高。
SDS研磨液供給系統(tǒng)
② 自備循環(huán)擾流功能,避免研磨液結(jié)晶和沉淀;
③ Drum及Tank氮封設計,防止空氣接觸至化學品造成污染;
④ 配置手動撥鈕開關(guān),PLC故障時可手動強制供應;
⑤ 主部件N+1配置,穩(wěn)定性好、效率高。