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Shenzhen International Cross-border E-commerce Trade Fair 2019

2019 第三屆深圳國際跨境電商交易博覽會

2019.11.03

www.icbeexpo.com

右側(cè).jpg

展會新聞

展商精選丨華易泰,致力于顯示面板、半導體等行業(yè)工藝設備本土化

2023-07-31 09:09:58


公司簡介

南京華易泰電子科技有限公司(展位號:4A09)2020年2月成立于南京市江北新區(qū)智能制造產(chǎn)業(yè)園,致力于顯示面板、半導體、新能源行業(yè)的工藝設備國產(chǎn)化。華易泰的主營產(chǎn)品分為AMHS(自動化物料搬運系統(tǒng))、WET(濕制程)設備、CCSS(中央化學品供給系統(tǒng))三大類,堅持百分百自主研發(fā)、設計、制造,是一家具備高新技術(shù)企業(yè)資質(zhì)及多項行業(yè)認證資格的高精密設備研發(fā)制造企業(yè)。

華易泰logo.png

推薦產(chǎn)品--AMHS產(chǎn)品系列

Stocker潔凈型堆垛機

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主要應用于TFT-LCD/OLED/AMOLED行業(yè),實現(xiàn)載有玻璃基板的卡匣的自動化搬運與存儲,可對接OHCV、MGV、AGV等設備。
主要參數(shù):
1-2.png
特點:
① 四驅(qū)動方式搬送,搬送能力更強,更穩(wěn)定可靠;

② 自主研發(fā)新型Fork專利技術(shù),自動校對卡匣位置;

③ BCR+磁柵尺機械結(jié)構(gòu),精確確認Crane位置信息;

④ Arm采用雙驅(qū)動+非動力傳動方式,空間小、精度高;

⑤ CPS非接觸式電源供電,效率高、壽命長、靈活度高。


OHT空中走形式無人搬運車

產(chǎn)品2.png

全稱為Overhead Hoist Transport,主要應用于半導體6-12英寸晶圓廠、封測廠,用于空中自動搬送晶圓載具(FOUP/SMIF POD/Cassette/Magazine等)。
主要參數(shù):
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特點:
① 自主研發(fā)單驅(qū)動多層取料專利技術(shù),空間小、精度高;

② 物料抓取防晃動設計,準確定位并抓取物料,穩(wěn)定性高;

③ CPS非接觸式電源供電,效率高、壽命長、靈活度高;

④ BCR實時確認Shuttle位置信息,實現(xiàn)與CIM的實時通信;

⑤ 采用安全觸邊傳感器,緩沖器,鐳射傳感器等防護措施,調(diào)整穿梭速度,防止碰撞。

薦產(chǎn)品--WET產(chǎn)品系列

Cleaner清洗機

產(chǎn)品3.png

主要應用于顯示面板生產(chǎn)工廠,達到去除玻璃基板表面的異物和顆粒的目的。
主要參數(shù):
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特點:
① 自主研發(fā)雙刀縫新型風刀,無水殘、干燥效果好;

② 水平傳送、傾斜傳送、90°轉(zhuǎn)角傳送等多種傳送方式可選;

③ 搭配AP Plasma/EUV,素玻璃接觸角<5°,進行有機物清潔;

④ 廠務純水直供和設備循環(huán)供給相結(jié)合,純水用量低、效率高;

⑤ 使用毛刷、二流體噴淋、超聲波清洗等清洗方式,實現(xiàn)<3μm的顆粒去除。

Etcher刻蝕機

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主要應用于顯示面板生產(chǎn)工廠,利用化學藥液將基板上面的金屬薄膜按照特定的圖案去除。
主要參數(shù):
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特點:
① 穩(wěn)定可控的溫度控制系統(tǒng),定向管控工藝溫度;

② 多角度搖擺噴淋方式,蝕刻均勻性高、藥液利用率高;

③ 搭配EMS藥液分析系統(tǒng),實時在線精準把控藥液成分;

④ 觸摸屏+PLC控制安全保護,具有液位保護、漏液漏電保護等;

⑤ 穩(wěn)定高速的藥液置換供給系統(tǒng),實現(xiàn)不停機藥液供給的置換,產(chǎn)能高、藥液利用率高。

推薦產(chǎn)品--CCSS產(chǎn)品系列

CDS 化學品供給系統(tǒng)

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全稱為Chemical Dispense System,主要用于顯示面板及芯片加工工廠,供給酸、堿、有機等化學品至相關(guān)設備。
特點:
① 雙桶設計,自動切換,Drum自循環(huán)預過濾功能;

② Drum區(qū)域配置HEPA,保證在更換酸桶時維持正壓;

③ Drum及Tank氮封設計,防止空氣接觸至化學品造成污染;

④ 配置手動撥鈕開關(guān),PLC故障時可手動強制供應;

⑤ 主部件N+1配置,穩(wěn)定性好、效率高。

SDS研磨液供給系統(tǒng)

產(chǎn)品6.png

全稱為Slurry Dispense System,主要用于顯示面板及芯片加工工廠,供給高純度化學品以研磨面板或芯片,并集中回收化學品液體。
特點:
① 雙桶設計,自動切換,Drum自循環(huán)預過濾功能;

② 自備循環(huán)擾流功能,避免研磨液結(jié)晶和沉淀;

③ Drum及Tank氮封設計,防止空氣接觸至化學品造成污染;

④ 配置手動撥鈕開關(guān),PLC故障時可手動強制供應;

⑤ 主部件N+1配置,穩(wěn)定性好、效率高。